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近藤 英一コンドウ エイイチ

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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

  • ISBN:978-4-320-08154-3
  • 判型/ページ数:A5 / 240ページ
  • 発行年月:2005年10月
  • 本体価格:2,800円

マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空,プラズマ,薄膜,エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて,その物理・化学の基本原理を解説する。とくに,集積回路,記憶媒体,液晶ディスプレイ,マイクロマシ・・・

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 書影
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理