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中嶋 一雄ナカジマ カズオ

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エピタキシャル成長のフロンティア

  • ISBN:978-4-320-03413-6
  • 判型/ページ数:A5 / 222ページ
  • 発行年月:2002年06月
  • 本体価格:4,200円

本書は最新のエピタキシャル成長に関わるトピックを結晶成長という視点で判りやすく解説する。対象材料はIII-V族,II-VI族化合物半導体,Si半導体,シリサイド,誘電体から有機分子まで多岐にわたる。ま・・・

エピタキシャル成長のフロンティア 書影
エピタキシャル成長のフロンティア

エピタキシャル成長のメカニズム

  • ISBN:978-4-320-03412-9
  • 判型/ページ数:A5 / 224ページ
  • 発行年月:2002年05月
  • 本体価格:4,000円

本書ではエピタキシャル成長の熱力学,結晶成長のカイネティクス,基板の表面状態とエピタキシャル成長,ヘテロエピタキシャル成長といった,最も基本となる重要なテーマを取り上げて解説する。本文中に出てくる式に・・・

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エピタキシャル成長のメカニズム