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伊藤 洋イトウ ヒロシ

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レジスト材料

  • ISBN:978-4-320-04372-5
  • 判型/ページ数:B6 / 112ページ
  • 発行年月:2005年02月
  • 本体価格:1,500円

この十数年のパソコンを初めとする電子機器の微細化,高性能化,低価格化には目を見張るものがあるが,この電子革命をもたらしたのが,リソグラフィと呼ばれる微細加工技術の進歩であり,その中心にあるのが,レジス・・・

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