• 教科書献本のご案内
  • ニュースメール
  • アフターサービス
  • facebook

和佐 清孝ワサ キヨタカ

著作一覧

詳細検索

薄膜化技術 第3版

  • ISBN:978-4-320-08613-5
  • 判型/ページ数:A5 / 328ページ
  • 発行年月:2002年06月
  • 本体価格:5,000円

初版を発行してから20年,第2版を出版してから10年が経過した。初版出版後,薄膜はディスプレイやメモリーディスクなど半導体IC以外のエレクトロニクス分野にも重要視されてきた。第2版出版後の最近の10年・・・

薄膜化技術 書影
薄膜化技術

薄膜化技術 第2版

  • ISBN:978-4-320-08497-1
  • 判型/ページ数:A5 / 294ページ
  • 発行年月:1992年09月
  • 本体価格:4,500円

最新の薄膜化技術内容を収録し,基礎から実際の生産までを多くの事例を示して解説すると共に,将来への新しい展望にもふれた入門書兼実用書。

薄膜化技術 書影
薄膜化技術

スパッタ技術

  • ISBN:978-4-320-08477-3
  • 判型/ページ数:A5 / 238ページ
  • 発行年月:1988年06月
  • 本体価格:4,000円

著者の豊富な経験をもとに,スパッタの基礎から応用に至る技術について,セラミックス高温超電導体の薄膜化などの最新の具体例をあげて解説。

スパッタ技術 書影
スパッタ技術

薄膜化技術

  • ISBN:978-4-320-08441-4
  • 判型/ページ数:A5 / 232ページ
  • 発行年月:1982年12月
  • 本体価格:3,500円

著者らの20年間にわらるバックプロセスを中心にした研究実績をもとに,技術の詳細を述べ,さらには将来の展望にもふれた初の成書である。

薄膜化技術 書影
薄膜化技術