薄膜作製ハンドブック 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 編 ISBN:978-4-320-08493-3判型/ページ数:B5 / 398ページ発行年月:1991年03月価格:11,000円(税込)現在用いられている薄膜の作製方法を学問的見地から集大成。基本的な技術から最先端技術を網羅しつつ,特に基礎的事項の記述と,作製法とできる薄膜の相との関係に重点をおいて解説・編集。 薄膜作製ハンドブック 書影