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応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 オウヨウブツリガッカイハクマクヒョウメンブツリブンカカイ

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薄膜作製ハンドブック

  • ISBN:978-4-320-08493-3
  • 判型/ページ数:B5 / 398ページ
  • 発行年月:1991年03月
  • 本体価格:10,000円

現在用いられている薄膜の作製方法を学問的見地から集大成。基本的な技術から最先端技術を網羅しつつ,特に基礎的事項の記述と,作製法とできる薄膜の相との関係に重点をおいて解説・編集。

薄膜作製ハンドブック 書影
薄膜作製ハンドブック