表面分析
著者 | 日本分析化学会 編・ 原口 紘[き] 編集委員・ 石田 英之 編集委員・ 大谷 肇 編集委員・ 鈴木 孝治 編集委員・ 関 宏子 編集委員・ 渡會 仁 編集委員・ 石田 英之 著・ 吉川 正信 著・ 中川 善嗣 著・ 宮田 洋明 著・ 加連 明也 著・ 萬 尚樹 著 |
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分野 |
化学・化学工業
> 分析化学 > 機器分析実技 |
シリーズ |
化学・化学工業
> 分析化学実技シリーズ 全30巻 > 応用分析編 1
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発売日 | 2011/08/30 |
ISBN | 9784320043916 |
体裁 | A5・202頁 |
定価 | 3,190円 (本体2,900円 + 税10%) |
表面分析の手法には多くの分析手法があるが、紙面の関係で実用的な視点から、赤外・ラマン分光法、光電子分光法(XPS)、二次イオン質量分析法(SIMS)、飛行時間型質量分析法(TOF-SIMS)を取り上げたユニークな構成の解説書となっている。特に、最近高感度な表面分析法として注目されているTOF-SIMSについて、原理、測定方法から応用まで解説している解説書は、本書が最初である。また、単に材料・デバイスの表面だけではなく表面層の深さ方向分析や表面微小部の分析等、表面がかかわる種々の問題・トラブル解析にも有用な内容となっている。
表面分析手法の装置・原理にはじまり、測定法・解析法から最新の応用例まで解説しており、表面分析の初級・中級研究者だけでなく、表面分析を研究・開発に活用・応用しようする研究者・技術者にとっても有益な解説書である。
Chapter2 赤外・ラマン分光法
Chapter3 X線光電子分光法(XPS, ESCA)
Chapter4 二次イオン質量分析法(SIMS)
Chapter5 飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS:Static SIMS)
付録 主な元素の化学シフト