ナノ電子光学

ナノ電子光学
著者 裏 克己
分野 電気・電子工学  > 電子物性
発売日 2005/06/01
ISBN 9784320086203
体裁 A5・348頁
定価 5,280円 (本体4,800円 + 税10%)
在庫 品切れ・重版未定
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近年、電子ビーム、イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として、また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は、これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。
1 はじめに

2 均一な静電・磁界中の電子軌道

3 電界および磁界

4 回転対称電磁界中に近軸軌道とその特性

5 回転対称電磁界によるレンズ収差

6 空間電荷効果

7 初速度分布の効果と電流密度分布

8 位相図とビーム径方程式

9 4極子レンズ

10 偏向器

11 プリズムと分光器

12 電子銃

13 イオン源

14 パルスビームと走行時間効果

15 変分法による軌道解析

16 収差理論

17 対物レンズの収差補正

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