ナノテクのための工学入門
ナノテクノロジーは、広い領域にまたがる学際的な技術であるため、どこでも通用する定本はない。啓蒙書はすでに多数出版されているが、これから進路をきめる学生や、領域間の理解のために役立つ本は少ない。本シリーズは、学生・院生はもとより、ナノテク関連の研究者・技術者がそれまでの専門とは異なる分野のナノテクを学びはじめる際に役立つことをねらいとしたシリーズである。たとえばバイオ関連のナノテク知識が急に必要となった化学・物理・工学関係者のために必要な基礎知識を簡潔にわかりやすく提供するのが『ナノテクのためのバイオ入門』であり、他の3巻も同様の方針で編集されている。
本巻では、工学を専門としない学生・研究者・技術者のために、必要とされるナノテクの基礎知識を簡潔にわかりやすく提供する。
本巻では、工学を専門としない学生・研究者・技術者のために、必要とされるナノテクの基礎知識を簡潔にわかりやすく提供する。
オーバービュー･････白石賢二・猪飼 篤
■ 基礎装置工学・試料作製技術
Chapter 1 機械工学･････新井豊子
Chapter 2 エレクトロニクス･････小林 圭・山田啓文
Chapter 3 レーザ装置とその応用･････上杉 直
Chapter 4 真空光学･････富取正彦
Chapter 5 マイクロマシニング・ナノマシニング･････羽根一博
Chapter 6 トップダウンリソグラフィによるナノ加工･････生津英夫
Chapter 7 表面工学と自己組織化技術･････市川昌和
■ ナノ構造体の応用測定工学
Chapter 8 ナノオーダーの極薄膜の構造解析の実際･････山元隆志・泉 由貴子
Chapter 9 力学物性の測定･････小林 圭・山田啓文
Chapter 10 光学物性の測定･････横山 浩・時崎高志
Chapter 11 電気物性の測定･････小川琢治
Chapter 12 ナノ構造体および物性の計算機シミュレーション･････塚田 捷
■ 基礎装置工学・試料作製技術
Chapter 1 機械工学･････新井豊子
Chapter 2 エレクトロニクス･････小林 圭・山田啓文
Chapter 3 レーザ装置とその応用･････上杉 直
Chapter 4 真空光学･････富取正彦
Chapter 5 マイクロマシニング・ナノマシニング･････羽根一博
Chapter 6 トップダウンリソグラフィによるナノ加工･････生津英夫
Chapter 7 表面工学と自己組織化技術･････市川昌和
■ ナノ構造体の応用測定工学
Chapter 8 ナノオーダーの極薄膜の構造解析の実際･････山元隆志・泉 由貴子
Chapter 9 力学物性の測定･････小林 圭・山田啓文
Chapter 10 光学物性の測定･････横山 浩・時崎高志
Chapter 11 電気物性の測定･････小川琢治
Chapter 12 ナノ構造体および物性の計算機シミュレーション･････塚田 捷
