薄膜 近角 聡信・蓮沼 宏・石黒 浩三・熊谷 寛夫・三宅 静雄企画編集委員・権藤 靖夫責任編集 書籍情報シリーズ名実験物理学講座 全30巻 【8】巻ISBN978-4-320-03063-3判型A5 ページ数432ページ発行年月1992年09月本体価格13,000円 薄膜 書影 第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し,第II部では導電体薄膜,誘電体薄膜,半導体薄膜,磁性薄膜,超電導薄膜,人工格子膜の物性について,薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。 amazon 紀伊國屋書店 honto ヨドバシ・ドット・コム 楽天ブックスセブンネットショッピング HonyaClube-hon TSUTAYA 紀伊國屋書店(新宿本店)丸善ジュンク堂書店文教堂旭屋倶楽部東京都書店案内
目次I.薄膜製作技術 1.真空蒸着法 2.プラズマやイオンを用いた成膜法 3.スパッタ法 4.化学的方法(1)固相中の拡散 5.化学的方法(2)気体および液相成長 II.薄膜 6.導電体薄膜 7.誘電体薄膜 8.半導体薄膜 9.磁性薄膜 10.超電導薄膜 11.人工格子膜 12.薄膜製作技術補遺