薄膜

書籍情報
シリーズ名実験物理学講座 全30巻 【8】巻
ISBN978-4-320-03063-3
判型A5 
ページ数432ページ
発行年月1992年09月
本体価格13,000円
薄膜 書影
薄膜

第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し,第II部では導電体薄膜,誘電体薄膜,半導体薄膜,磁性薄膜,超電導薄膜,人工格子膜の物性について,薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。

目次

I.薄膜製作技術
1.真空蒸着法

2.プラズマやイオンを用いた成膜法

3.スパッタ法

4.化学的方法(1)固相中の拡散

5.化学的方法(2)気体および液相成長

II.薄膜
6.導電体薄膜

7.誘電体薄膜

8.半導体薄膜

9.磁性薄膜

10.超電導薄膜

11.人工格子膜

12.薄膜製作技術補遺