薄膜 近角 聡信・蓮沼 宏・石黒 浩三・熊谷 寛夫・三宅 静雄企画編集委員・権藤 靖夫責任編集 書籍情報シリーズ名実験物理学講座 全30巻 【8】巻ISBN978-4-320-03063-3判型A5 ページ数432ページ発行年月1992年09月価格14,300円（税込） 薄膜 書影 第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し，第II部では導電体薄膜，誘電体薄膜，半導体薄膜，磁性薄膜，超電導薄膜，人工格子膜の物性について，薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。 amazon 紀伊國屋書店 honto ヨドバシ・ドット・コム 楽天ブックスセブンネットショッピング HonyaClube-hon TSUTAYA 紀伊國屋書店(新宿本店)丸善ジュンク堂書店文教堂旭屋倶楽部東京都書店案内
目次I．薄膜製作技術 1．真空蒸着法 2．プラズマやイオンを用いた成膜法 3．スパッタ法 4．化学的方法（1）固相中の拡散 5．化学的方法（2）気体および液相成長 II．薄膜 6．導電体薄膜 7．誘電体薄膜 8．半導体薄膜 9．磁性薄膜 10．超電導薄膜 11．人工格子膜 12．薄膜製作技術補遺
