薄膜

近角聡信・蓮沼宏・石黒浩三・熊谷寛夫・三宅静雄企画編集委員・権藤靖夫責任編集

書籍情報
シリーズ名	実験物理学講座　全30巻【8】巻
ISBN	978-4-320-03063-3
判型	A5
ページ数	432ページ
発行年月	1992年09月
本体価格	13,000円

薄膜書影

第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し，第II部では導電体薄膜，誘電体薄膜，半導体薄膜，磁性薄膜，超電導薄膜，人工格子膜の物性について，薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。

I．薄膜製作技術
1．真空蒸着法

2．プラズマやイオンを用いた成膜法

3．スパッタ法

4．化学的方法（1）固相中の拡散

5．化学的方法（2）気体および液相成長

II．薄膜
6．導電体薄膜

7．誘電体薄膜

8．半導体薄膜

9．磁性薄膜

10．超電導薄膜

11．人工格子膜

12．薄膜製作技術補遺

薄膜

目次

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