真空工学

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書籍情報
ISBN978-4-320-03284-2
判型A5 
ページ数244ページ
発行年月1991年05月
本体価格3,700円
真空工学 書影
真空工学

真空工学の基礎事項と応用技術について,学生および現場の技術者にも役立つよう平易に解説。

目次

第1章 真空の概念

第2章 気体分子の運動

第3章 固体と気体

第4章 真空の作成―真空排気

第5章 真空計測―真空度測定

第6章 真空の応用技術