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超高真空技術の実際

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書籍情報
ISBN978-4-320-03285-9
判型A5 
ページ数408ページ
発行年月1991年07月
本体価格8,000円
超高真空技術の実際 書影
超高真空技術の実際

超高真空技術全般のノウハウを系統的に詳述。また訳書では,「アルミニウム合金製超高真空系システム」の解説(石丸 肇執筆)を併載として付した。

目次

第1章 真空科学・技術の基礎

第2章 超高真空用材料

第3章 ポンプ

第4章 全圧測定

第5章 分圧測定

第6章 超高真空配管用構成部品

第7章 系と応用

第8章 リーク検出

[併載]
アルミニウム合金製超高真空系システム 石丸 肇 著