真空排気とガス放出

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書籍情報
シリーズ名真空サイエンスシリーズ 【4】巻
ISBN978-4-320-03336-8
判型A5 
ページ数228ページ
発行年月1995年09月
価格4,400円(税込)
真空排気とガス放出 書影
真空排気とガス放出

真空技術のユーザおよび技術者,研究者に,それぞれの立場で役立つ基礎知識を与えることを目標にまとめられたシリーズの第1弾!

目次

第1章 序論

第2章 真空ポンプ

第3章 ガス放出I

第4章 ガス放出II

第5章 放出ガス低減法

第6章 ガス放出現象の実際

第7章 これからの問題