微細加工とレジスト

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書籍情報
シリーズ名高分子新素材One Point 全30巻+別巻 【3】巻
ISBN978-4-320-04227-8
判型B6 
ページ数108ページ
発行年月1987年11月
本体価格1,000円
微細加工とレジスト 書影
微細加工とレジスト

半導体デバイスを制作する際の微細な加工に,どのようなレジスト(耐食性被膜材料)が使われ,また,新しく開発されているか,現状と将来を展望。

目次

1.レジストを使う微細加工

2.フォトレジスト

3.電子線レジスト

4.X線レジスト

5.将来展望