真空技術入門

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書籍情報
ISBN978-4-320-04257-5
判型A5 
ページ数144ページ
発行年月1989年09月
価格2,563円(税込)
真空技術入門 書影
真空技術入門

真空技術の原理を簡潔・明確に解説。重要な基本原理を柱に,装置,材料,方法の長・短所を比較解説。

目次

1 真空と真空技術

2 コンダクタンスとポンプの排気速度

3 真空ポンプ

4 圧力の測定

5 材料と装置設計

6 超高真空

7 真空技術の応用