本書は，長年表面分析の第一線でさまざまな試料について分析を行ってきた経験豊富な専門の研究者が執筆した実用的な表面分析の解説書である。
　表面分析の手法には多くの分析手法があるが，紙面の関係で実用的な視点から，赤外・ラマン分光法，光電子分光法(XPS)，二次イオン質量分析法(SIMS)，飛行時間型質量分析法(TOF-SIMS)を取り上げたユニークな構成の解説書となっている。特に，最近高感度な表面分析法として注目されているTOF-SIMSについて，原理，測定方法から応用まで解説している解説書は，本書が最初である。また，単に材料・デバイスの表面だけではなく表面層の深さ方向分析や表面微小部の分析等，表面がかかわる種々の問題・トラブル解析にも有用な内容となっている。
　表面分析手法の装置・原理にはじまり，測定法・解析法から最新の応用例まで解説しており，表面分析の初級・中級研究者だけでなく，表面分析を研究・開発に活用・応用しようする研究者・技術者にとっても有益な解説書である。