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Q&A真空50問

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書籍情報
ISBN978-4-320-08442-1
判型A5 
ページ数216ページ
発行年月1982年12月
本体価格2,400円
Q&A真空50問 書影
Q&A真空50問

著者は「真空」誌の編集長として長いあいだ誌上技術相談を担当。そこで知り得た技術者の疑問と悩みをまとめて解消すべく,実務家向きに詳述。

目次

I 共通

II 油回転ポンプ

III 拡散ポンプ

IV スパッタイオンポンプ

V クライオポンプ

VI もれ探し

VII フランジ

VIII クリーンバキウム

IX 中真空の真空計

X 電離真空計

XI 残留ガス分析

XII 真空計の取り付け方