スパッタ技術

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書籍情報
ISBN978-4-320-08477-3
判型A5 
ページ数238ページ
発行年月1988年06月
価格4,400円(税込)
スパッタ技術 書影
スパッタ技術

著者の豊富な経験をもとに,スパッタの基礎から応用に至る技術について,セラミックス高温超電導体の薄膜化などの最新の具体例をあげて解説。

目次

1章 序章

2章 スパッタの基礎

3章 スパッタ装置と基本特性

4章 スパッタによる薄膜化

5章 スパッタによる微細加工