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薄膜作製ハンドブック

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書籍情報
ISBN978-4-320-08493-3
判型B5 
ページ数398ページ
発行年月1991年03月
本体価格10,000円
薄膜作製ハンドブック 書影
薄膜作製ハンドブック

現在用いられている薄膜の作製方法を学問的見地から集大成。基本的な技術から最先端技術を網羅しつつ,特に基礎的事項の記述と,作製法とできる薄膜の相との関係に重点をおいて解説・編集。

目次

第1編 基礎
真空技術
蒸発現象
気相反応
薄膜成長
エピタキシャル成長
液相エピタキシャル成長法の基礎理論
膜厚測定
分析・評価技術

第2編 薄膜作製法
PVD
CVD
その他の技術