薄膜化技術 第2版

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書籍情報
ISBN978-4-320-08497-1
判型A5 
ページ数294ページ
発行年月1992年09月
価格4,950円(税込)
薄膜化技術 書影
薄膜化技術

最新の薄膜化技術内容を収録し,基礎から実際の生産までを多くの事例を示して解説すると共に,将来への新しい展望にもふれた入門書兼実用書。

目次

第I部 薄膜とその応用
1章 薄膜材料

2章 薄膜の形成法と評価

3章 スパッタプロセスに興味ある現象

第II部 スパッタの基礎と応用
4章 スパッタの基礎

5章 スパッタ装置と動作特性

6章 化合物薄膜とスパッタ蒸着