アモルファス薄膜の評価

書籍情報
シリーズ名表面・薄膜分子設計シリーズ 全18巻 【8】巻
ISBN978-4-320-08508-4
判型B6 
ページ数134ページ
発行年月1989年09月
本体価格1,320円
アモルファス薄膜の評価 書影
アモルファス薄膜の評価

アモルファス薄膜の評価方法と評価実例を記述。

目次

第1章 はじめに

第2章 構造と化学結合状態

第3章 ラザフォード後方散乱法―組成の評価

第4章 水素の定量

第5章 スパッタで作成したa―Si合金

第6章 スパッタによる微結晶シリコン膜の構造と物性