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イオンビームによる薄膜設計

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書籍情報
シリーズ名表面・薄膜分子設計シリーズ 全18巻 【15】巻
ISBN978-4-320-08515-2
判型B6 
ページ数124ページ
発行年月1991年09月
本体価格1,320円
イオンビームによる薄膜設計 書影
イオンビームによる薄膜設計

イオンビームの作用,役割から種々の薄膜形成法及び形成した薄膜の応用までをわかり易く解説。

目次

第1章 薄膜の形成

第2章 イオンビームの作用

第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法

第4章 プラズマ中での薄膜形成法

第5章 真空中での薄膜形成法