ナノ電子光学

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書籍情報
ISBN978-4-320-08620-3
判型A5 
ページ数348ページ
発行年月2005年06月
本体価格4,800円
ナノ電子光学 書影
ナノ電子光学

近年,電子ビーム,イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として,また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は,これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。

目次

1 はじめに

2 均一な静電・磁界中の電子軌道

3 電界および磁界

4 回転対称電磁界中に近軸軌道とその特性

5 回転対称電磁界によるレンズ収差

6 空間電荷効果

7 初速度分布の効果と電流密度分布

8 位相図とビーム径方程式

9 4極子レンズ

10 偏向器

11 プリズムと分光器

12 電子銃

13 イオン源

14 パルスビームと走行時間効果

15 変分法による軌道解析

16 収差理論

17 対物レンズの収差補正